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單極脈沖直流電源

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500W DCMF電源 (2).JPG

適用于金屬、合金、石墨、硅鋁,等靶材鍍制金屬膜、碳膜和部分氧化物、氮化物、碳化物膜層  。

特點:

1:主回路拓撲采用PFC+全橋構架  結合ARM+DSP數字控制技術  

2:內置滅弧時間設置10us-100us 適應不同的工藝及靶材 打弧顯示計數

3: 輸出頻率10-120KHZ  脈沖間隔時間 1-10us

4: 恒功率  恒電流 恒電壓 滿足任意工藝要求

5:明顯改善靶面電荷積累現象,減小濺射表面打火次數,提高膜層質量。

6:脈沖 &直流 兩個模式輸出,滿足不同工藝要求

7:操作可面板控制  遠程PLC 控制模擬量   PROFIBUS 通訊

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