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雙脈沖偏壓電源

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雙脈沖偏壓電源 (3).JPG

應用于工具鍍、多弧、磁控,離子體增強及化學氣相沉積。

主要作用被鍍工件表面的輝光清洗、鍍膜前的離子轟擊和沉積時的離子加速

1:主回路拓撲采用PFC+全橋構架  結合ARM+DSP數字控制技術  

2:頻率10-100KHZ 正負脈沖輸出  

3:內置滅弧時間設置10us-100us適應不同的工藝及靶材 打弧顯示計數

4:同時檢測 V-ARC & I-ARC 快速切斷輸出  同時啟動內置專利技術消除殘余電弧能量,避免基片放電打弧,確保高精膜層 ,提高鍍件的成品率,表面光潔度和膜層結合力

6:合理調節頻率  間隙時間(1-10us),可改善和控制成膜速度和溫度,增加膜層結合力 致密性 提高沉積率

7:脈沖/直流 任意切換  滿足不同的工藝及基片材料要求

8:輸出電壓0-1100V 無需換擋 輝光清洗和離子轟擊   無縫對接到   沉積時的離子加速

9:操作可面板控制  遠程PLC 控制模擬量   PROFIBUS 通訊

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